200 M€, 100 M€, 100 M€, Reliquat le cas échéant

aux bénéficiaires finaux à l'issue de chacune des vagues d'appel à projets

d'autre part, ils pourront contribuer au financement des vagues ultérieures de sélection des équipements d'excellence

Tableau 2. ― Rythme d'engagement des fonds consomptibles